日本Apollowave阿波罗 无液氮真空低温探针台系统MJ-3000

日本Apollowave阿波罗 无液氮真空低温探针台系统MJ-3000

产品简介：可以*要液氮进行－180℃～＋100℃ 的高低温真空探针测试。

产品特点及详细参数：
液体窒素不要！　冷?加温真空チャンバ 
MJ-3000は、半导体材料等の各特性を测定するための25mm 角ウェーハ対応のパルスチューブ冷冻机を実装した、小型軽量の冷?加温真空チャンバーです。液体窒素を用意する必要がなく、手軽に－180℃～＋100℃まで试料を温度可変することができます。また、外部操作型ポジショナーが搭载されていますので、真空中で自由に深针移动が可能です。 


４深针の外部操作型ポジショナーを搭载し、大気开放せずに真空中で深针移动ができます。 

従来の装置と违い、加热ステージとパルスチューブ冷冻机 ※ が搭载されており、液体窒素を用意する必要がなく、长时间の作业でも酸欠（酸素欠乏症）の心配がありません。 

试料を－180℃～＋100℃まで温度可変することができ、一定温度状态の试料测定が长时间可能となっています。 

チャンバー上盖はヒンジ开闭式で110°开きますので、试料へのアクセスがスムーズにできます。 

ビューイングポート（回転式遮光盖付属）が标准装备されており、光照射および顕微镜を使用しての试料観测、探针移动、遮光に便利です。 
※本装置搭载のパルスチューブ冷冻机は、従来型と违いコンプレッサーと一体型で省スペース、低振动、**命、低消费电力の冷冻机です。 
 
MJ-3000基本仕様 
温度ステージ部 
温度精度（ステージ温度） 
±１℃（ホールド状态） 
振动 
约２μｍ以下 
材料 
铜（レーデント＜黒＞） 
寸法 
□33mm（接地タイプ） 
试料有効寸法 
□25mm 
温度范囲 
－ 180℃～＋ 100℃（Max.） 
センサー 
PT100（4 线式） 
ヒーター 
セラミックスヒーター 
试料押え 
４个 
真空チャンバー部 
真空度 
10 － 2 Pa 以上（真空ポンプに依存します） 
ビューポート 
石英ガラスφ 79 × t4mm（覗き有効径66 φ） 
ポジショナーポート 
外部操作型用：４个 
予备端子ポート 
1个 
リークバルブポート 
1/ ４"　スウェージロック：1 个 
センサーポート 
ICF34：１个 
ヒーターポート 
ICF34：１个 
ゲージポート 
NW25：１个 
予备ポートえ 
NW25：１个 
真空引口 
NW40：１个